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电子工业专用设备
Equipment for Electronic Products Manufacturing
基本信息
曾用刊名:半导体设备
主办单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期: 双月
ISSN: 1004-4507
CN: 62-1077/TN
出版地: 北京市
展开
出版信息
专辑名称: 信息科技
专题名称: 无线电电子学
评价信息
(2023版)复合影响因子:0.358
(2023版)综合影响因子:0.205
该刊被以下数据库收录:
期刊荣誉:|@|Caj-cd规范获奖期刊;|@|

提示:

1、投稿方式:邮箱投稿。

2、出刊日期:双月刊,逢双月25日出版。

2023年11月29日星期三

                 

 

《电子工业专用设备》杂志介绍

 

《电子工业专用设备》是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊,是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。

本刊是以报道国内外半导体设备为主,反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。刊出的论文体现了技术上的先进性、方法上的新颖性、工程上的实用性、设计上的指导性、内容丰富、信息量大、涵盖面广、适用面宽,栏日设有:趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。


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